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基恩士 WI-5000
基恩士白光干涉仪WI-5000
成色 A
¥100,000
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产品描述
白光干涉轮廓仪，采用非接触式光学干涉原理
测量范围：0.1nm-100μm（表面粗糙度Ra）
垂直分辨率：0.01nm（PSI模式）/0.1nm（VSI模式）
横向分辨率：0.1μm
干涉物镜：2.5x/5x/10x/20x/50x（可选）
测量模式：PSI（相位转移干涉）、VSI（扫描干涉）
XY扫描范围：100mm×100mm（电动平台）
软件：表面形貌分析、波前像差分析、薄膜厚度测量