日立 TM3030

台式扫描电子显微镜，配备专用样品杯和一体化操作界面。加速电压：5kV/10kV/15kV（三档可调）；分辨率：30nm（15kV，SEI）；放大倍率：15x-60,000x；电子枪：发叉式钨灯丝（W）；样品室：φ60mm；样品台：3轴手动载物台；工作室真空：高真空模式