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12寸大Zygo激光干涉仪

Zygo 12寸

12寸大Zygo激光干涉仪

成色 A
¥1,200,000

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产品描述

白光干涉轮廓仪,非接触测量表面微观形貌

垂直测量范围:0.1nm-10μm

分辨率:0.1nm

物镜:5x/10x/20x/50x(可选)

XY平台:手动/电动(可选)

测量模式:相移干涉(PSI)

样品要求:反射或半反射表面

软件:表面轮廓分析、薄膜厚度测量