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Zygo 12寸
12寸大Zygo激光干涉仪
成色 A
¥1,200,000
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13167244831
szwdk8@126.com
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产品描述
白光干涉轮廓仪,非接触测量表面微观形貌
垂直测量范围:0.1nm-10μm
分辨率:0.1nm
物镜:5x/10x/20x/50x(可选)
XY平台:手动/电动(可选)
测量模式:相移干涉(PSI)
样品要求:反射或半反射表面
软件:表面轮廓分析、薄膜厚度测量

12寸大Zygo激光干涉仪
白光干涉轮廓仪,非接触测量表面微观形貌
垂直测量范围:0.1nm-10μm
分辨率:0.1nm
物镜:5x/10x/20x/50x(可选)
XY平台:手动/电动(可选)
测量模式:相移干涉(PSI)
样品要求:反射或半反射表面
软件:表面轮廓分析、薄膜厚度测量