Zeiss Sigma VP

可变压力扫描电子显微镜，支持高气压成像模式。加速电压：0.3-30kV；分辨率：5.0nm（30kV）/10nm（3kV，VP模式）；放大倍率：5x-150,000x；工作室压力：10-270Pa；探测器：高位SE、低位SE、VPSE