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日本电子 JEM-9320FIB
日本电子集束离子注加工装置JEM-9320FIB
成色 A
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产品描述
激光跟踪仪,用于大尺寸空间坐标测量。测量范围:半径0-30m(360度水平);空间测量精度:10μm+5μm/m;角度精度:±1秒;跟踪速度:大于60度/秒