KLA Tencor KLA Tencor P-16 OF+

KLA Tencor P-16 OF+ 探针式台阶轮廓仪（台阶仪） 一、设备基础信息 品牌：KLA-Tencor（科磊，美国半导体精密测量龙头企业，全球晶圆制程检测标杆厂商） 型号：P-16 OF+（P16+系列加长行程机型，OF代表长行程导轨配置） 设备类型：接触式探针轮廓仪（台阶仪/表面粗糙度轮廓测试仪） 二、核心用途 1. 半导体晶圆领域：测量晶圆镀膜台阶高度、薄膜厚度、表面粗糙度、翘曲度，适配最大8英寸（200mm）晶圆，是芯片制造镀膜工序关键检测设备。 2. 材料研发行业：光学玻璃、PCB、精密陶瓷、MEMS器件、微电子元件的微观形貌、波纹度、沟槽深度检测 。 3. 精密加工：零部件微观台阶、镀层厚度、表面轮廓曲线测绘。 三、关键技术参数 - 垂直测量分辨率：0.2Å（0.02nm），台阶高度重复精度6Å，可精准测量纳米级高低差； - 导轨行程：P16 OF+属于加长款，最大扫描长度可达200mm（标准版P16约100mm），对应图中长条型机身导轨结构； - Z轴量程：最高110μm，探针采用金刚石材质，可控探针压力避免划伤样品表面。 四、机型版本说明 - P-16 OF+是经典P15的升级款，升级USB数据传输、Apex专业分析软件，OF标识=超长行程工作台（Optimal Feed加长导轨），图中长条柜体就是该机的X轴长行程基座； - 同系列衍生：P6（小型桌面款）、P17（全自动量产机型），P16+多用于实验室研发+中小批量产线检测。